晶圓單片清洗設(shè)備應(yīng)用提案
裝置概要
晶圓單片清洗設(shè)備由于工藝效果好、均勻性高，不易產(chǎn)生交叉污染，逐漸成為了半導(dǎo)體制造中的主流濕法清洗設(shè)備。該設(shè)備在晶圓上、下料、CUP升降裝置、噴淋/清洗裝置等機構(gòu)應(yīng)用上，東方馬達(dá)均提供強有力的解決方案。通過搭載步進伺服混合控制系統(tǒng)αSTEP AZ系列及其模組化產(chǎn)品，達(dá)成小型化、高精度、節(jié)省設(shè)計、裝配的人力和時間成本等多項課題。 以下為您介紹各工位應(yīng)用提案：
噴淋/清洗裝置擺臂工位——旋轉(zhuǎn)軸
中空旋轉(zhuǎn)式傳動裝置DGⅡ系列可直接安裝大慣性工作臺及機械臂等，減少機構(gòu)設(shè)計、零件調(diào)配、組裝狀態(tài)調(diào)節(jié)等花費的時間與費用。
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驅(qū)動多種機械臂規(guī)格·大容許慣性力矩
以下為各規(guī)格可驅(qū)動的大致機械臂參考長度及負(fù)載質(zhì)量，實際選用請結(jié)合機構(gòu)尺寸及驅(qū)動條件進行綜合選型計算，可進一步洽詢東方馬達(dá)。
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 ? DGM60采用了深槽滾珠軸承。 |
一體化?大口徑中空孔設(shè)計
可直接將負(fù)載安裝在旋轉(zhuǎn)平臺上，不僅省去傳動機構(gòu)，方便安裝，更能通過中空設(shè)計實現(xiàn)由下而上的配線?配管。
大口徑中空孔（貫穿）可用于布線復(fù)雜的配線、氣動及液壓配管等場合，使裝置設(shè)計更為簡潔。
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大口徑中空孔 旋轉(zhuǎn)平臺驅(qū)動清洗臂擺動，負(fù)載直接安裝于旋轉(zhuǎn)平臺上，中空設(shè)計實現(xiàn)清洗液輸送配管由中空部輕松通過，整體設(shè)計緊湊，減少因機構(gòu)設(shè)計產(chǎn)生空間干涉。 |
搭載AZ系列的便利功能
方便的運行·設(shè)定
使用AZ系列的功能，能夠通過中空旋轉(zhuǎn)式傳動裝置的旋轉(zhuǎn)平臺執(zhí)行坐標(biāo)管理，可以實現(xiàn)以下運行：
| ?就近絕對定位運行，縮短生產(chǎn)周期 | ?設(shè)定禁止進入范圍，使控制簡單、更安全 | |
指朝向設(shè)定的目標(biāo)位置，按移動距離最短的旋轉(zhuǎn)方向執(zhí)行驅(qū)動的功能。
可縮短裝置的生產(chǎn)周期。
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裝置上有障礙物等時，
可在旋轉(zhuǎn)平臺上設(shè)定禁止進入范圍。  |
縮短裝置啟動時間 出廠時已預(yù)設(shè)運行中空旋轉(zhuǎn)式傳動裝置所需參數(shù)，可縮短裝置啟動時間。·原點位置
·分辨率設(shè)定（0.01°/step）
·旋轉(zhuǎn)平臺的旋轉(zhuǎn)方向設(shè)定
·Round設(shè)定±180°
●各初始設(shè)定值支持更改。
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搭載產(chǎn)品
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?中空旋轉(zhuǎn)式傳動裝置 DGII系列 傳動裝置內(nèi)部為減速機構(gòu)，因此可進行高輸出功率驅(qū)動。
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注意：
本資料僅供參考。選購前請仔細(xì)確認(rèn)設(shè)備需求和產(chǎn)品規(guī)格。
如需幫助，請洽詢本公司客戶咨詢中心（電話：400-820-6516）。
